PHY 6485 - Interactions ions et plasmas avec les matériaux
No DE COURS
PHY 6485
Crédits
3.0
Cycle
Cycles supérieurs
Département
Physique
Faculté
Faculté des arts et des sciences
Description
Mécanismes d'interaction des ions et des réactifs avec les matériaux. Implantation ionique, pulvérisation, gravure et dépôt par plasmas. Caractérisation des surfaces et interfaces par techniques ioniques.
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